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电子束镀膜系统

专利号:201822030743

有效期间:2018-12-04 至 2028-12-03

国家商标局备案机构,安全保障

电子束镀膜系统
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专利类型:
实用新型
适用行业:
化学
专利描述:
本实用新型公开了一种电子束镀膜系统,包括相连通的清洗室和蒸镀室,清洗室底部设有气体入口和清洗室抽气口,清洗室内还设有磁控溅射装置;蒸镀室内设有电子束蒸镀装置,蒸镀室底部还设有蒸镀室抽气口。本实用新型通过抽气口排出清洗室和蒸镀室内的空气,再由...
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专利详情

本实用新型公开了一种电子束镀膜系统,包括相连通的清洗室和蒸镀室,清洗室底部设有气体入口和清洗室抽气口,清洗室内还设有磁控溅射装置;蒸镀室内设有电子束蒸镀装置,蒸镀室底部还设有蒸镀室抽气口。本实用新型通过抽气口排出清洗室和蒸镀室内的空气,再由气体入口向清洗室内通入离化气体产生电子对待镀膜的带材进行清洗、加热和刻蚀,可有效清除带材镀膜面的杂质和氧化层,极大提高镀膜层的结合力,改善镀膜层应力;通过蒸镀室内的电子束蒸镀装置使镀膜材料熔化蒸发、离化后沉积在带材上进行镀膜,能促进镀膜材料离子在带材上的沉积,使沉积形成的镀膜层致密度提高;本实用新型可极大提高带材镀膜后的镀膜层性能。

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